低流量,雙向常閉(NC)比例閥,帶有集成的熱補償功能,可在各種介質(zhì)上保持和可重復的流量。 VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣,VSOLowFlow微型比例閥可根據(jù)輸入電流提供的氣體流量控制。可以通過DC電流或脈沖寬度調(diào)制以及閉環(huán)來控制閥門。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質(zhì)譜設備制造商。 •實現(xiàn)的低流量(0 - 500 sccm)控制,提高儀器精度 •進行熱補償以保持各種介質(zhì)的流動 用于性能可追溯性的計算機自動校準和序列化 •清潔氧氣和分析服務使用 經(jīng)過驗證的性能測試到1000萬個生命周期 •符合RoHS標準 PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應用行業(yè)如下: •氣相色譜 •質(zhì)譜 •壓力和流量控制 •質(zhì)量流量控制 |